Интервью

Разработанную Евгением Берлиным плазмохимическую вакуумную установку «Ника-2014» ПХТ на проходившей в апреле нынешнего года в Москве Международной выставке VacuumTechExpo признали «Лучшим инновационным продуктом в сфере высоких технологий».

Я на днях – чайник чайником – забрался в «космос», вышел невредимый, только с открытым ртом. Почаще бы в таком «космосе» летать – поменьше бы мы преклонялись перед западными мудрецами.

Ботаник с «правыми» руками

Белая рубашечка, брючки, белый свитерок надел паренек. В воронежский институт полупроводникового машиностроения пришел по распределению в 1979 г. Насосы гудели, маслом воняло вперемешку с амбре «Беломора». Явился: за столом – двое, один в синем халате, другой в черном. У «черного» и руки черные, как у африканца, пальцы загрубелые. «Черный» спрашивает: «Ты откуда такой взялся?

– А я Воронежский университет окончил, – выпятив грудь, заявил высоченный чернявый парень. – Я – физик- теоретик.

– Ого, – отозвались оба в унисон. – Руками ничего не трогать!».

Но товарищ он был упрямый с детства, через полгода разобрался во всем: от марок гаечных ключей до умения читать чертежи. Паренек – 21-летний Евгений Берлин, поступивший в университет в 16 лет, а господин в черном халате – ведущий инженер лаборатории вакуумной техники Анатолий Чернышов, научивший его всему с нуля.

– Сколько сделал всего? – прищурился Евгений Владимирович.

– Около 40 лет пустоту творил – разработал, считайте, около 40 различных типов установок. А выпустили, если с модификациями – несколько сотен. Пойдемте, покажу.

Мы стояли рядом с мило «ворчащей» компактной установкой, которую изобретатель назвал «Ника-2013». Год – начало разработки, Ника – имя одной из дочерей. Победа! Я глядел в маленькое окошко- окуляр и видел… пустоту, плазму: раскаленное белое марево.

– А вы знаете, что для травления кварца установлен мировой лимит скорости в 1,5 микрона в минуту? – пробасил рядом хозяин этого «космоса», генеральный конструктор компании «Лаборатория вакуумных технологий». – Мы сумели увеличить скорость травления в четыре раза, обогнав всех на планете.

– И кто до этого додумался? – уточнил я с умным видом.

– Я и додумался, – парировал автор. – Пошли дальше. Чертежи захотел? Сам «сочини»! Мы с вами не физики- химики, а знать, для чего понадобилось творить вакуум, более чем полезно. Вакуумные технологии позволяют проводить процессы в контролируемой среде – без чего не могут обходиться микро- и радиоэлектроника, индустрия специальной и военной аппаратуры. Травлением, которым занимается «язва» эдакая «Ника», удаляется заданная часть материала с его поверхности, очищается от загрязнений и т. п. Тот же кварц, который травит «Ника», – пьезоэлектрик. Этот дает возможность выпускать гидролокаторы и микрофоны, медицинские ультразвуковые и гидроакустические датчики и пр.

Е.Берлин одним из первых в СССР начал использовать ВЧ-магнетронные технологии травления. Или вакуумное напыление, посредством которого на поверхности различных деталей создают проводящие, изолирующие, износостойкие покрытия. Без напыления чип сделать нельзя. Микроэлектроника, СВЧ-техника, антенны АФАР, позволяющие работать радарам и пр.

Е.Берлин отличался «противным» свойством: ему всегда импонировали собственные разработки. Заводская лаборатория стала тесна, Евгений приехал в столичный НИИ вакуумной техники им. Векшинского, поступил в аспирантуру. Тут-то чудеса и начались. Еще во время перестройки решил он создать… кооператив по выпуску вакуумной техники! В то время как 95% кооперативов торговали всякой всячиной. Ну и что? Берлин сотоварищи разработал уникальную установку ВЧ-магнетронного травления «Эра-1» (в России таких не было) для одноименного завода. Аванс получили – 26 тысяч рублей! За каждую! Клад!

Но Евгений пришел к своему профессору в институте и предложил поставить создание установки в план отдела. Знамо куда честного послали. Когда машина родилась, донесли профессору: мол, за вашей спиной голубчик Берлин деньги заколачивает. Тот вызвал его: «Дружок, защищать диссертацию собираешься?

– А как же.

– А чертежи установки мне подбрось, мы же соавторы.

– Какого рожна! – взорвался Евгений».

И ушел навсегда.

И носило меня, как осенний листок

Уехал Е.Берлин в Зеленоград, женился, создал с компаньоном фирму, которая произвела 13 установок «Эра-2» по заказу. Другая машина, стоящая 190 тысяч долларов, отправилась в Турцию. Успех! Явился через пару недель автор к напарнику: квартирку, намекнул, купить пора – заработали. А тот ему – нетути, любезный, денежек. Облапошил: организовал новую фирму и увел туда все деньги.

Умным всегда на орехи достается. Начал с нуля. Несколько лет пахал «без образования юридического лица». А в 2003 г., после 11 лет работы на одну из зеленоградских фирм, появилась новая компания «ЭСТО-Вакуум» и серия уникальных установок «Каролина» – это имя младшей дочери. «Ника-2014» – последнее детище «Лаборатории вакуумных технологий», учрежденной в 2009 г., – принципиально новая конструкция. Судя по результатам, никто в мире «никиных» результатов не достиг. Стоит аппарат 400-500 тыс. долл., т.е. вдвое дешевле импортных.

– Мы полностью заместили зарубежную технику в своих установках, – резюмировал Берлин. – Создавая не только аналогичное оборудование, но и аппаратуру лучшего мирового уровня. Посмотрите образец: технология вакуумного хромирования, а ведь осаждение гальванического хрома очень вредно для экологии. У нас – 30 микрон хрома и ни миллиграмма яда. Я его – о хобби, он разводит руками: изобретательство. Это дано или нет – убежден разработчик.

Внуков в это дело обещает не пустить – каждому свое. Нет, отключаться он, конечно, может – и музыка, и театр, и лес густой, – но дел-то сколько впереди. Столько новых технологий мирового уровня разработали – их же реализовывать надо. То же вакуумное хромирование – это, к примеру, вообще замена гальваники. Переворот! Но об этом в другой раз. Чуть позже.

Василий Рощин, фото Анны Алимжановой