Новости

Резидент особой экономической зоны (ОЭЗ) «Технополис Москва» приступил к разработке фоторезистов — литографических материалов, которые применяются в электронной промышленности. Об этом сообщил руководитель Департамента инвестиционной и промышленной политики Москвы Владислав Овчинский.

«Более 50 процентов всей продукции, выпускаемой в особой экономической зоне “Технополис Москва”, производится в сфере микроэлектроники. В кластер микроэлектроники ОЭЗ Москвы входит свыше 30 резидентов. Среди них компания “НИИМЭ” (Научно-исследовательский институт молекулярной электроники), которая планирует наладить производство отечественных фоторезистов для электронной промышленности. Такая продукция будет востребована при выпуске интегральных микросхем, их используют в различной современной технике. Потребителями продукции, разработанной компанией, станут российские производители микроэлектроники, в том числе резиденты ОЭЗ “Технополис Москва”», — рассказал он.

Фоторезист — это светочувствительный полимерный материал, который наносят на кремниевую пластину в ходе процесса фотолитографии. С его помощью на поверхности обрабатываемой детали формируются выделенные участки — «окна» — для дальнейшего травления или легирования поверхности. Это основная технология в производстве интегральных микросхем.

«Компания проведет теоретические и экспериментальные работы, разработает документацию технологического процесса, методики измерений параметров материалов и метрологической экспертизы. Производство этих материалов станет важным шагом на пути достижения технологического суверенитета нашей страны», — подчеркнул генеральный директор ОЭЗ «Технополис Москва» Геннадий Дегтев.

В компании накоплен большой опыт исследований в области высокочистых материалов. В сотрудничестве с институтами Российской академии наук предприятие по программе импортозамещения занимается разработками и анализом высокочистых химических реактивов для отечественной промышленности. За последние пять лет удалось сформировать технологические цепочки исполнителей из научных организаций, а также создать задел для разработки материалов для фотолитографии.

В 2021 году была создана единственная в России физико-химическая аналитическая лаборатория мирового уровня, где проводят исследования в области контроля качества технологических сред. Сегодня она участвует во всех опытно-конструкторских работах по созданию химреактивов требуемого качества и методик анализа соответствия качества высокочистых материалов.

ОЭЗ «Технополис Москва» — территория с особым юридическим статусом, на которой действует льготный режим предпринимательской деятельности для инвесторов. Площадь шести площадок («Печатники», «Алабушево», «Микрон», «МИЭТ», «Ангстрем», «Руднево»), на которых размещаются высокотехнологичные предприятия ОЭЗ, превышает 260 гектаров. Особая экономическая зона «Технополис Москва» на протяжении нескольких лет является лидером международных и национальных отраслевых рейтингов.